Es ist grundsätzlich möglich, die thermischen Massedurchflussmesser und Regler red-y for gasflow im Unterdruckbereich einzusetzen. Die Eigenschaft des Sensors erlaubt eine genaue Durchflussmessung bis 100 mbar abs.
Bei den Durchflussreglern wird meist nach dem Regelventil ein Unterdruck erzeugt. Die Ventile sind Vakuumdicht. Dennoch ist im Vakuumbetrieb folgendes zu beachten:
Die Geräte haben einen grösseren Druckverlust im Vakuumbetrieb. Die Verrohrung sollte deshalb möglichst gross ausgelegt werden. Die Gefahr von Kondensatbildung ist im Vakuumbetrieb zu beachten.
