Die thermische Massedurchflussmesser und Regler messen direkt die Anzahl der Gasmoleküle (Masse), welche am Sensor vorbeiströmen. Dieses Messprinzip erlaubt grosse Schwankungen der Temperatur und des Druckes ohne dass das Messergebnis stark beeinflusst wird.
Eine ausgeklügelte Temperaturkompensation bewirkt kaum messbare Unterschiede im Bereich zwischen 0…50°C.
