Mess-und Regelbereiche Druck |
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(Nach)Druckregelung |
Absolut-, Differenz- oder Überdruck Standardmessbereiche ab 30 mbar bis 10 bar in Abstufungen Dynamik: 1 : 100 |
Vordruckregelung |
Absolut-, Differenz- oder Überdruck Standardmessbereiche ab 30 mbar bis 10 bar in Abstufungen Dynamikbereich abhängig von der jeweiligen Anwendung |
Messbereiche Durchfluss |
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Luft/ Endwerte frei wählbar |
Gasanschluss G¼” von 0 … 25 mln/min bis 0 … 60 ln/min Gasanschluss G½” von 0 … 60 ln/min bis 0 … 450 ln/min |
Dynamikbereich und Genauigkeit Durchfluss |
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“Standard” |
Genauigkeit: ± 1.0 % vom Endwert Dynamik: 1 : 50 |
“Hi-Performance” (bis max. 150 ln/min) |
Genauigkeit: ± 0.3 % vom Endwert + ± 0.5% vom Messwert Dynamik: 1 : 100 |
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Druckregler mit externem Druckaufnehmer, Sondermessbereiche (z.B. 0-20 Pa) & kundspezifische Ausführungen auf Anfrage |
Leistungsmerkmale |
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Medien (Echtgaskalibrierung) |
Luft*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8 (andere Gase und Gasmischungen auf Anfrage) *O2/ N2 werden mit Luft kalibriert |
Reaktionszeit Durchflussmessung |
± 80ms Abhängig von der Gerätekonfiguration & gemäss SEMI Standard E17-1011, 5-100% des Bereichs unter optimierten Bedingungen |
Reaktionszeit Druckmessung |
150 ms |
Reaktionszeit Druckregelung |
Abhängig von der Messstrecke |
Wiederholbarkeit |
± 0.2% vom Endwert (gemäss SEMI Standard E56-0309) |
Langzeitstabilität |
< 1% vom Messwert / Jahr |
Speisung |
24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc auf Anfrage |
Stromaufnahme Standard |
Messer: max. 100mA; Regler: max. 250mA (mit Ventil Typ 8 max. 490mA) |
Stromaufnahme Profinet RT / EtherCAT |
Messer: max. 125mA; Regler: max. 340mA (mit Ventil Typ 8 max. 560mA) |
Temperatur (Umgebung / Gas) |
0 – 50°C |
Werkstoffe |
Aluminium eloxiert, optional Edelstahl 1.4305 oder Edelstahl 1.4404 elektropoliert |
Dichtungen |
FKM, EPDM, optional FFKM |
Druck |
Vakuum bis 10 bar ü |
Druckkoeffizient |
< 0.2% / bar vom Messwert (typisch N2) |
Temperaturkoeffizient |
< 0.025% / °C auf Endwert Messbereichstyp |
Aufwärmzeit |
< 1 sec. für volle Genauigkeit |
Integration |
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Ausgangssignale digital |
RS-485; Modbus RTU (Slave); Lab View-VIs verfügbar Option: ProfiBus DP-V0, DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
Ausgangssignale analog |
0..20 mA, 4..20 mA, 0..5 V, 1..5 V, 0..10 V, 2..10 V |
Sollwerte analog |
Mit AD-Wandler realisierbar (auf Anfrage) |
Gasanschluss |
G¼” (BSPP* female) bis 60 ln/min, G½” (BSPP* female) bis 450 ln/min *British Standard Pipe Parallel |
Einlaufstrecke |
Keine |
Elektrischer Anschluss |
D-Sub Stecker 9-polig |
Einbaulage |
Beliebig (Hersteller kontaktieren bei über 5 bar oder vertikaler Montage) |
Sicherheit |
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Prüfdruck |
16 bara |
Leckrate |
< 1 x 10-6 mbar l/s He |
Schutzart |
IP50 oder IP67 |
EMV |
EN 61326-1 |