Messbereiche |
|
Luft/ Endwerte frei wählbar |
Gasanschluss G¼” von 0 … 25 mln/min bis 0 … 60 ln/min Gasanschluss G½” von 0 … 60 ln/min bis 0 … 450 ln/min |
Ausführungsvarianten |
|
“Standard” Die klassische Ausführung |
Genauigkeit: ± 1.0 % vom Endwert* Dynamik: 1 : 50 |
“Hi-Performance” Mit höchster Genauigkeit und Dynamik (verfügbar für GSM < 200 ln/min / GSC < 150 ln/min (Luft)) |
Genauigkeit: ± 0.3 % vom Endwert + ± 0.5% vom Messwert* Dynamik: 1 : 100 *Bei analogen Signalen zusätzliche Genauigkeitsabweichung von ± 0.25 % vom Endwert möglich |
Leistungsmerkmale |
|
Medien (Echtgaskalibrierung) |
Luft*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8 (andere Gase und Gasmischungen auf Anfrage) *O2/ N2 werden mit Luft kalibriert |
Reaktionszeit |
Messer (GSM): ± 80ms*; Regler (GSC): ± 500ms* *Abhängig von der Gerätekonfiguration & gemäss SEMI Standard E17-1011, 5-100% des Bereichs unter optimierten Bedingungen |
Wiederholbarkeit |
± 0.2% vom Endwert (gemäss SEMI Standard E56-0309) |
Langzeitstabilität |
< 1% vom Messwert / Jahr |
Speisung |
24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc auf Anfrage |
Stromaufnahme Standard |
Messer (GSM): max. 100mA; Regler (GSC): max. 250mA (GSC mit Ventil Typ 8 max. 410mA) |
Arbeitsdruckbereich |
0.2 – 11 bar a (GSC mit Ventil Typ 4.5 und 8 bis max. 8 bar a) |
Temperatur (Umgebung / Gas) |
0 – 50°C |
Werkstoffe |
Aluminium eloxiert, optional Edelstahl elektropoliert |
Dichtungen |
FKM, EPDM, optional FFKM |
Druckkoeffizient |
< 0.2% / bar vom Messwert (typisch N2) |
Temperaturkoeffizient |
< 0.025% / °C auf Endwert Messbereichstyp |
Aufwärmzeit |
< 1 sec. für volle Genauigkeit |
Integration & Installation |
|
Ausgangssignale analog |
0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V |
Ausgangssignale digital |
RS-485; Modbus RTU (Slave); Lab View-VIs verfügbar Option: ProfiBus DP-V0, DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
Gasanschluss |
G¼” (BSPP* female) bis 60 ln/min, G½” (BSPP* female) bis 450 ln/min *British Standard Pipe Parallel |
Einlaufstrecke |
Keine |
Elektrischer Anschluss |
D-Sub Stecker 9-polig |
Einbaulage |
Beliebig (Hersteller kontaktieren bei über 5 bar oder vertikaler Montage) |
Sicherheit |
|
Prüfdruck |
16 bara |
Leckrate |
< 1 x 10-6 mbar l/s He |
Schutzart |
IP50 |
EMV |
EN 61326-1 |